化学机械抛光金刚石修整器化学机械抛光金刚石修整器文章编辑：郑州中原抛光机械总厂 http://www.paoguangji8.com 修整器的性能要求十分严格，首先金刚石不能脱落，否则会划伤晶圆表面；其次，金刚石分布要均匀，金刚石尖端必须朝上 ，出刃高度一致。因此，采用真空钎焊和金刚石有序排列的制作方法比较合适。 ...
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